The team of Professor Guo-bin Jung from the department of Mechanical Engineering of Yuan Ze University plans to adapt Proton Exchange Membrane (PEM) and a low-carbon ozone water system to innovatively apply to the wafer cleaning process replacing high-carbon ozone and reducing the use of wet chemicals. It put green semiconductor manufacturing processes into practice. It received support from the Taiwan Germination project of the National Science and Technology Council, the only one connected to the semiconductor industry among many biomedical projects.
【本報訊】
元智大學機械系鐘國濱教授團隊規劃先進質子交換膜水電解技術，製低碳臭氧水系統，創新應用於晶圓清潔製程，取代高碳臭氧與降低濕式法化學藥劑使用，實踐半導體製程綠色化，獲得國科會科研創業計畫萌芽案，在眾多生醫題材中，唯一與半導體產業接軌的科研創業計畫。
鐘國濱教授團隊發展先進質子交換膜水電解技術，將純水以低電壓製取臭氧，具備低能耗與製程簡單優勢。鐘國濱表示，半導體晶圓製造過程中如蝕刻、沉積、去光阻等，皆對晶圓表面造成汙染，進而影響晶圓品質與製程進行。目前業界解決成熟晶圓製程表面汙染使用之清潔製程為溼式法，透過使用硫酸、氫氟酸及氫氧化銨等化學藥劑處理晶圓表面汙染，再使用大量去離子水洗滌，以避免殘留問題。然此清潔製程將導致大量水資源使用與化學藥劑汙染環境與傷害人體之問題。
鐘國濱指出，國科會科研創業計畫以開發低碳高濃度臭氧水模組為目標，初期提供晶圓清洗設備商整合與內部測試驗證，中長期生產低碳高濃度臭氧水與運用於晶圓製程的綠色清潔，取代現有日本與德國的設備進口，實踐半導體周邊設備自主開發與維修即時。
元智大學創新創業中心盤點校內具備新創能量之團隊，協助產官學研跨領域與資源連結，提供橋接與輔導，中心主任曾詠青教授在計畫申請過程，以其創業經驗和策略觀點，協助理工與商業領域之間的銜接與轉譯，協助鐘國濱教授團隊獲得國科會科研創業計畫萌芽案補助。